取扱製品

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主な真空装置部品

  • スパッタリング装置の基板ホルダー、加熱機構や防着板等
  • 蒸着装置の基板ホルダー、ハースライナや抵抗加熱ボート等
  • CVD装置等の各種ガス導入パーツ、表面処理等
  • 真空装置の搬送、ホルダー、防着板などの内部ユニット部品を各種材料で設計、製作を行い、消耗パーツ及び関連製品を併せて販売しております。