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真空コンポーネント

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トランスファーロッド

トランスファーロッド

特徴

  • 10-8Pa以下の超高真空領域に対応
  • 超高真空中で直線移動と回転が可能
  • 磁気カップリング方式を採用
  • 移動軸はφ10
  • 回転防止機構(オプション)
  • 遠隔操作機構(オプション)

仕様

駆動方式 磁気カップリング方式
直進力 10.2kgf
回転トルク 11.4kgf/cm
ベーキング温度 200℃以下