主な真空装置部品
- スパッタリング装置の基板ホルダー、加熱機構や防着板等
- 蒸着装置の基板ホルダー、ハースライナや抵抗加熱ボート等
- CVD装置等の各種ガス導入パーツ、表面処理等
- 真空装置の搬送、ホルダー、防着板などの内部ユニット部品を各種材料で設計、製作を行い、消耗パーツ及び関連製品を併せて販売しております。
各種レアメタルの精密微細加工から板金・溶接まで幅広い加工をお客様のご要望に対応いたします。
モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブなど高融点金属を始めとして、インコネル、チタン、アルミナ、グラファイトなどを材料とした真空部品や加熱装置の部品の加工販売をしております。
加熱プロセス部品
- 真空炉・高温炉のヒータ、リフレクタ及び炉床、マッフル、トレー、ラック（棚）など構成パーツの設計、製作、販売をおこないます。
お客様の用途に合わせた材料をご提案し、微細部品の設計から加工まで行います。
