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装置名：In-Situ表面評価装置

真空中において1500度で試料を急速加熱処理を行い、プリパレーションチャンバを介して分析チャンバへ搬送し、さらに800度で加熱しながらスパッタクリーニング、蒸着を行いLEED/AES測定やI-V特性の評価を行う装置。分析チャンバでは質量分析も可能であり、到達真空度はTMPのみでE-8Pa台である。