製作実績

HOME > 製作実績

過去の事例

装置名:In-Situ表面評価装置

 In-Situ表面評価装置

真空中において1500度で試料を急速加熱処理を行い、プリパレーションチャンバを介して分析チャンバへ搬送し、さらに800度で加熱しながらスパッタクリーニング、蒸着を行いLEED/AES測定やI-V特性の評価を行う装置。分析チャンバでは質量分析も可能であり、到達真空度はTMPのみでE-8Pa台である。