ターボ分子ポンプ排気装置HUVSシリーズ
特長
写真はオプション付です
- ラインナップは排気速度250L/secと77L/secの2機種をご用意
- 高圧縮比
圧縮比 1×1011のターボ分子ポンプを採用 - 荒引ライン選択機能
ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動とロータリーポンプ単独起動の切替機能付き - フルレンジ真空計を標準搭載（表示はTMPコントーラ）
- 省スペース、省電力
- 任意メーカの排気ポンプを選定可能
- 停電時の逆流防止対策
フォアバルブは自動リークバルブを搭載
主な仕様
| 型式 | HUVS-100型 | HUVS-63型 |
|---|---|---|
| ターボ分子ポンプ 排気速度 | 250L/sec(N2) 220L/sec(H2) | 77L/sec(N2) 50L/sec(H2) |
| ターボ分子ポンプ 到達圧力 | 10-8Pa台（排気装置 10-6Pa台） | |
| 吸気口フランジ | ICF152 | ICF114 |
| 補助(ロータリー)ポンプ排気量 | 60Hz:192L/min 50Hz:160L/min | 60Hz:114L/min 50Hz:95L/min |
| フォアバルブ | 停電時逆流防止機能付きリークバルブ(ＮＷ25) | |
| 真空計 | フルレンジ真空計 (大気圧～5×10-7Pa) | |
| 入力電源 | 単相AC100V(50/60Hz) 10Ａ | |
| 質量 | 約60kg | |
| 寸法 | Ｗ300×Ｄ約700×H約1020mm | |
| オプション | ドライポンプ、接続用各種配管 他 | |
