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ターボ分子ポンプ排気装置HUVSシリーズ

2015.03.12 UP

特長

ターボ分子ポンプ排気装置　HUVSシリーズ

写真はオプション付です

  • ラインナップは排気速度250L/secと77L/secの2機種をご用意
  • 高圧縮比
    圧縮比　1×1011のターボ分子ポンプを採用
  • 荒引ライン選択機能
    ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動とロータリーポンプ単独起動の切替機能付き
  • フルレンジ真空計を標準搭載（表示はTMPコントーラ）
  • 省スペース、省電力
  • 任意メーカの排気ポンプを選定可能
  • 停電時の逆流防止対策
    フォアバルブは自動リークバルブを搭載

主な仕様

型式 HUVS-100型 HUVS-63型
ターボ分子ポンプ 排気速度 250L/sec(N2)　　220L/sec(H2) 77L/sec(N2)　　50L/sec(H2)
ターボ分子ポンプ 到達圧力 10-8Pa台（排気装置　10-6Pa台）
吸気口フランジ ICF152 ICF114
補助(ロータリー)ポンプ排気量 60Hz:192L/min　50Hz:160L/min 60Hz:114L/min　50Hz:95L/min
フォアバルブ 停電時逆流防止機能付きリークバルブ(ＮＷ25)
真空計 フルレンジ真空計　(大気圧～5×10-7Pa)
入力電源 単相AC100V(50/60Hz)　　10Ａ
質量 約60kg
寸法 Ｗ300×Ｄ約700×H約1020mm
オプション ドライポンプ、接続用各種配管　他