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ターボ分子ポンプ排気装置HUVSシリーズ

2015.03.12 UP

特長

ターボ分子ポンプ排気装置 HUVSシリーズ

写真はオプション付です

  • ラインナップは排気速度250L/secと77L/secの2機種をご用意
  • 高圧縮比
    圧縮比 1×1011のターボ分子ポンプを採用
  • 荒引ライン選択機能
    ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動とロータリーポンプ単独起動の切替機能付き
  • フルレンジ真空計を標準搭載(表示はTMPコントーラ)
  • 省スペース、省電力
  • 任意メーカの排気ポンプを選定可能
  • 停電時の逆流防止対策
    フォアバルブは自動リークバルブを搭載

主な仕様

型式 HUVS-100型 HUVS-63型
ターボ分子ポンプ 排気速度 250L/sec(N2)  220L/sec(H2) 77L/sec(N2)  50L/sec(H2)
ターボ分子ポンプ 到達圧力 10-8Pa台(排気装置 10-6Pa台)
吸気口フランジ ICF152 ICF114
補助(ロータリー)ポンプ排気量 60Hz:192L/min 50Hz:160L/min 60Hz:114L/min 50Hz:95L/min
フォアバルブ 停電時逆流防止機能付きリークバルブ(NW25)
真空計 フルレンジ真空計 (大気圧~5×10-7Pa)
入力電源 単相AC100V(50/60Hz)  10A
質量 約60kg
寸法 W300×D約700×H約1020mm
オプション ドライポンプ、接続用各種配管 他